Se, tarvitaanko apukaasua piinitridin (Si₃N4) laserleikkaukseen, riippuu materiaalin tiheydestä ja paksuudesta.
1. Sovellusskenaariot
----Huokoinen, pienitiheys Si₃N₄ (8 mm): Voidaan leikata 1 kW:n QCW-laserilla (huippu 3 kW) käyttämällä ilmaa ja erikoisparametreja; laatu on hyväksyttävää.
----Tiheä, kuumapuristettu Si₃N₄ (8 mm): Typpiapua suositellaan jopa 10 kW:n huippulaserille. Ilmaa tulee välttää.
2. Keskeiset periaatteet
8 mm paksuiselle Si3N4:lle laserleikkaus sisältää lämpöabloinnin ja kaasutuksen. Apukaasulla on kolme tärkeää roolia:
----Poista sula/höyrystynyt jäännös: Korkeissa lämpötiloissa muodostuu sulaa Si ja SiO₂; ilman kaasua uurre tukkeutuu, mikä aiheuttaa epätäydellisiä leikkauksia tai lohkeilua.
---- Jäähdyttää ja estää halkeamia: Paksut levyt keräävät suuren lämpörasituksen; kaasu kuljettaa pois lämpöä estäen murtuman ja reunan halkeilun.
----Sulje happi pois hapettumisen välttämiseksi: Ilma tai O₂ muodostaa oksidikerroksen, mikä mustuttaa leikkauskohtaa, lisää karheutta ja vähentää lujuutta.
3. Apukaasun valinta
----Erittäin puhdas typpi (N₂, 99,99 %): Yleisin ja kustannustehokkain; estää hapettumista, puhaltaa pois roskat, jäähdyttää ja jättää puhtaan leikkauksen. Paine: 0,6-0,8 MPa. Soveltuu pidikkeisiin, kohdistuspuristimiin, monimutkaisiin osiin, puolijohteisiin ja NEV-komponentteihin.
----Korkean puhdas argon (Ar, 99,999 %): Inertti, pienempi lämmönvaihdealue, erittäin sileät leikkaukset, lähes nolla lastua. Ihanteellinen autokäyttöön ja erittäin tarkkoihin alustoihin, mutta kallista.
----Ilma tai O₂ kielletty: Aiheuttaa mustuneita viiltoja, purseita, voimakasta halkeilua; ei hyväksytä tarkkuuskeramiikassa.
4. Käytännön parametrit
----Lasertyyppi: Kuitulaser / UV-pikosekunti
----Apukaasu: erittäin puhdas N₂, 0,7 MPa
----Teho: Kuitulaser 500-1000W
----Leikkausmenetelmä: Kerroksellinen rengasleikkaus, 3-4 kierrosta halkeilun estämiseksi
---- Tarkennus: Negatiivinen tarkennus (materiaalin pinnan alapuolelle) varmistaa tasaisen uurteen
YCLaser tarjoaa laserkäsittelyä useille koville ja hauraille materiaaleille, mukaan lukien ilmainen näytteenotto ja prosessin optimointi.Ota yhteyttä räätälöityä ratkaisua varten.
